863计划、国家科技支撑计划制造领域2014年度备选项目征集指南

2013年04月19日11:42 | 中国发展门户网 www.chinagate.cn | 给编辑写信字号：T|T

关键词：控制额微纳光纤激光器飞秒激光脉冲序列节能控制器可制造性典型工艺烧结成型零速

4.微纳制造技术

针对物联网、智能制造等战略性新兴产业发展对高性能、多功能、低功耗微纳器件及系统的需求，攻克微纳器件与系统的设计、制造、集成化前沿核心技术，解决能够引领产业发展的微纳制造关键共性技术，研制一批能够提升产业核心竞争力的微纳器件与系统。

4.1 物联网用高性能硅基微纳器件及系统的设计与制造

针对物联网、智能制造等战略性新兴产业对高性能微纳传感器、阵列化微纳传感器及其系统、多功能微纳系统的需求，攻克高端微纳器件可制造性设计技术、阵列化微纳传感器兼容工艺技术、三维异质集成技术等关键技术，研发出高性能三维系统和批量化高精度硅压力传感器系列产品，提高流程工业的核心竞争力并支撑物联网未来的发展。设5个研究方向:

4.1.1 工业过程控制高精度硅压力传感器及系统（国拨经费控制额不超过1000万元、企业牵头申报，前沿技术类）

针对智能制造装备、系统控制技术发展需求，突破高精度、高可靠性硅压力传感器及变送器批量化制造工艺一致性、稳定性、可靠性等关键技术，形成高精度、高可靠性硅压力传感器及变送器批量生产技术规范，建立年产10万套的生产线，传感器精度优于0.075%，成品率大于90%，实现规模化应用。

4.1.2 高端微纳器件可制造性设计技术（国拨经费控制额不超过500万元、企业牵头申报，前沿技术类）

针对物联网应用对高端微纳器件与系统的批量化需求，研究硅基MEMS制造工艺相对偏差较大导致的器件成品率较低问题，突破制造工艺模拟、制造过程可测试性、考虑工艺偏差的微纳器件设计与优化等关键技术，开发出商用设计软件模块并在生产线应用。

4.1.3 阵列化微纳传感器设计与制造技术（国拨经费控制额不超过1000万元、企业牵头申报，前沿技术类）

针对物联网发展对高性能、低功耗微纳传感器的需求，突破阵列化微纳传感器及接口电路的低功耗设计、制造、封装、测试等关键技术，研制出6万个以上阵列单元及其系统，实现规模化应用。

4.1.4 微纳系统三维异质集成化技术（国拨经费控制额不超过1000万元，前沿技术类）

针对物联网发展对多功能、低功耗微纳系统的需求，突破微纳系统三维异质集成的设计、对准、封装、测试等关键技术，研制出包括微能源、微纳传感器、信号处理与收发电路等多功能微纳系统原型，实现示范应用。

4.1.5 硅基氮化铝微纳系统（AlN-MEMS）的设计与制造技术（国拨经费控制额不超过1000万元、企业牵头申报，前沿技术类）

针对物联网发展对多功能、低功耗、无线微纳系统的需求，突破硅基AlN薄膜制造与测试技术、硅基AlN-MEMS设计与兼容制造工艺，研发出声波传感器、谐振器、能量收集器等3种以上器件，建立年产达1000万只器件的生产线，实现规模化应用。

4.2 高性能金属微纳结构制造技术及装备

针对高端装备发展对微型金属惯性开关、安保机构、点火靶微孔的需求，攻克金属UV-LIGA（紫外光-光刻电铸成型）的设计制造关键技术、飞秒激光脉冲序列微纳加工的关键工艺技术及系统集成技术，研发出飞秒激光脉冲序列微纳加工装备和批量化微型金属惯性开关与安保机构产品，支撑我国高端装备发展。设2个研究方向:

4.2.1 紫外光-光刻电铸成型（UV-LIGA）规模化制造技术（国拨经费控制额不超过1000万元、企业牵头申报，前沿技术类）

针对高端装备发展对微型金属惯性开关和安保机构的需求，研究金属UV-LIGA（紫外光-光刻电铸成型）的设计、制造、测试、装配等关键技术，攻克批量制造的一致性，形成批量生产技术规范，建立年产30万只器件的生产线，实现规模化应用。

4.2.2 飞秒激光脉冲序列微纳加工关键工艺与装备（国拨经费控制额不超过1000万元，前沿技术类）

针对高端装备发展对大长径比金属微纳结构制造的需求，解决飞秒激光脉冲序列微纳加工的关键工艺技术、系统集成技术，研制出飞秒激光脉冲序列微纳加工装备，实现示范应用。