极大规模集成电路制造装备及成套工艺国家科技重大专项2014年度项目申报

5.1项目（课题）责任单位和联合单位、团队的基本情况（包括与项目（课题）实施相关的实力和基础，以往的业绩和成就，承担相关项目（课题）情况）

5.2 项目（课题）责任单位及联合单位与国内外同类机构的优势比较分析（完成项目（课题）预期目标的技术、人才、机制、设施设备优势等）

所在单位

项目（课题）中职务及分担的任务

累计为本项目（课题）工作时间（人月）

专  业

职称/职务

出生日期

性别

姓  名

序号

1

2

3

4

5

6

7

8

9

10

5.4项目（课题）负责人及主要骨干人员的情况(从事过的主要相关研究及所负责任和作用，相关研究和产业化成果、发明专利和获奖情况，在国内外主要刊物上发表论文情况，特别是与本项目（课题）相关的研究成果情况等)

5.5项目（课题）主要骨干人员目前承担其它相关国家科技计划项目（课题）情况（请填写下表,如有未尽事宜应进行说明）

姓名

承担项目（课题）名称

项目（课题）经费数

（万元）

项目（课题）开始

时间

项目（课题）结束

时间

所属科技

计划

其他说明事项：