极大规模集成电路制造装备及成套工艺国家科技重大专项2014年度项目申报

二、项目（课题）的主要研究内容、任务分解，以及经费预算的需求、测算方法、测算依据等相关说明

  1、研究任务一

  2、研究任务二

3、研究任务三

  4、研究任务四

  5、研究任务五

三、其他来源经费说明（需说明经费的来源、落实和到位情况、用途，并附相关的证明材料）