清洁、高效、低能耗，多晶硅生产告别“三高”

3.对副产物四氯化硅进行冷氢化，助力能耗降低。

据统计，每生产1吨多晶硅产品将产生副产物四氯化硅20余吨，如作为废物处理将直接影响环境、安全及企业效益。

通过小型、半工业试验，中国恩菲从工艺上实现了将多晶硅生产过程中产生的四氯化硅副产物通过冷氢化系统转化为三氯氢硅原料，返回系统使用，少量不能转化返回的低品质四氯化硅经提纯后用于气相白炭黑生产，副产物循环利用率99%以上，多晶硅生产成本降低35%，通过物料的闭式循环利用，有效解决了多晶硅企业规模化生产的瓶颈问题。

中国恩菲将创新技术集成后，在中硅高科实施产业化。运行结果表明，首创的低温加压氢化生产工艺、创新研制大型低温加压氢化装置和氢气回收技术，在反应条件、处理能力、一次转化率和单位产品电耗方面都显著优于当时国外氢化技术，达到国际领先水平。该工艺通过加压、吸附、净化系统，将活化、氢化的尾气中氢气全部回收，使其返回系统后循环使用，利用氢化高温反应产物能量加热进入反应器的反应物料技术，降低能耗达30%。

4.提高原料纯度，提升产品品质。

多晶硅纯度是衡量产品品质的关键因素。中国恩菲从提高原料三氯氢硅的纯度入手，聚焦于产品质量的提升：

发明了三氯氢硅合成、高效筛板与填料组合的加压精馏提纯技术，单套高纯三氯氢硅分离能力为当时国内先进水平的10倍，提纯后三氯氢硅指标优于国内先进水平2倍以上，且能满足电子级多晶硅纯度要求；

发明大型高效、加压、高温三氯氢硅提纯及偶合工艺，减少蒸汽消耗和塔顶循环水消耗，降低能耗45%以上；

创新研制大型三氯氢硅加压合成装置，单套系统年产能高出国内最好水平2倍以上，合成产物中三氯氢硅含量、氯化氢综合利用率和硅粉利用率，分别高出国内最好水平10%、9.1%和18.6%，达到国内领先水平；

创新研制了合成产物加压分离和尾气全回收工艺，回收的氢气和氯化氢气体返回生产系统，从根本上解决环境污染问题，显著降低成本。